Хагас дамжуулагчийн үйлдвэрлэлийн үйлдвэрлэлд хийсэн хийнүүд нь 1950 оноос 1960-аад оны эхээр эргэж ирэв. Хагас дамжуулагч үйлдвэрлэгчийн явцад цэвэр байдал, чанарыг хангахын тулд хагас дамжуулагч материалыг цэвэрлэх, хамгаалахад ихэвчлэн хэрэглэгддэг. Хамгийн түгээмэл хэрэглэгддэг хий нь азот, устөрөгч юм.
Хагас дамжуулагч технологи боловсруулсан, үйлдвэрлэлийн үйл явцыг боловсруулж, үйлдвэрлэлийн үйл явц үргэлжлүүлсээр үргэлжлүүлэв. 1970 онд хагас дамжуулагч ашигласны явцыг малтмалын крейпортжуулах, шингэн шатаах, хийцтэй бажийн соёлтын хэрэг нь усны дүрмийг үрэлгээний явц оруулсан 1980 оныг нэгтгэсэн хэлхээг нэгтгэсэн, тэдгээрийн эрэлт нэмэгдэж буй өсөлтийг сайжруулах эрэлтийг улам бүр нэмэгдүүлэв. Устөрөгч нь устөрөгчийн өсөлт, устөрөгчийн уурын ханшийг багтаасан үйлдвэрлэлийн үйл явцад өргөн хэрэглэгддэг. 1990-ээс өнөөг хүртэл, өнөөгийн өндөр цэвэрлэгээний хий, тодорхой хий, тодорхой хийнүүд нь хагас дамжуулагч төхөөрөмжийн хэмжээ багасч, шинэ процессыг багасгаж, шинэ үйл явцыг багасгаж байна. Жишээлбэл, хэт ягаан туяаны хэт ягаан туяаны эмограф (EUV) нь азот, устөрөгч гэх мэт өндөр цэвэршүүлэлтийг ашиглахыг шаарддаг.
Хагас дамжуулагчийн хий нь илүү олон болон гаднах бүтээгдэхүүнийг хөгжүүлэхэд хүргэлтийг даван туулж, хийн далд бодис, хийн даралт, хийн даралт, хийн даралт, хийн даралт, хийн даралт, хийн даралтын бүтээгдэхүүн, хийн даралт, хийн даралт, хийн даралт, хийн даралт, хийн даралт, хийн даралт, хийн даралт, мөн хийн даралт, хийн даралтын бүтээгдэхүүн, мөн хийн даралт, хийн даралт, хийн даралт, хийн даралтын бүтээгдэхүүн, мөнхөд хэрэглэгддэг бөгөөд хийн даралт, хийн даралт, хийн даралт, хийн даралт, хийн даралт, хийн даралт, хий, бензиний гадагшлуулах бүтээгдэхүүнүүд, мөн хийн даралт, хийн даралт, хийн даралтын бүтээгдэхүүнүүд, мөн хийн даралт, хийн даралт, хийн даралт, мөнх хэрэглэл, мөн хийн даралт, хийн даралт, хийн даралт, хийн даралтын бүтээгдэхүүн, мөн хийн даралт, хийн даралт юм.
Даралтын зохицуулагч: Даралтын зохицуулалт нь хийн даралтыг хянахад ашигладаг төхөөрөмжүүд юм. Тэд ихэвчлэн зохицуулагч хавхлага, даралт мэдрэгчээс бүрддэг. Даралтын зохицуулагч нь өндөр даралттай хий үүсгэж, гаралтын хийн даралтыг тохируулах, ашиглах тодорхой өргөдлийн шаардлагыг тохируулах замаар тогтворжуулдаг. Даралтын зохицуулагчдыг үйлдвэрлэлийн, үйлдвэрлэлийн салбар, үйлдвэрлэлийн салбар, Хий, хагас хангамж, хийн хангамжийн тогтвортой байдал, аюулгүй байдлыг хангах үүднээс өргөн хэрэглэгддэг.
Хийн хавхлаг: Хийн хавхлагууд хийн урсгалыг хянах, хийн хэсгүүдийг хаахад ашигладаг. Тэд ихэвчлэн хийн урсгалыг нээж, хаадаг эсвэл хаах функцтэй байдаг. Хийн хавтангийн янз бүрийн төрлийн хавтангууд, түүний гарын авлагын хавхлага, цахилгаан хавхлага, цооног хавхлагууд байдаг. Тэдгээр нь гаднах системд урсах, даралт, урсгалын хэмжүүрийг хянахын тулд байгалийн хийн системд ашигладаг.
Хийн даралтын хэмжүүр: Хийн даралтын хэмжигч хийн даралтын түвшинг хэмжихэд ашигладаг. Тэдгээрийг ихэвчлэн даралт өөрчлөгдөж, аюулгүй байдлаа хянах, аюулгүй хязгаарт байгаа эсэхийг шалгадаг. Хийн даралтын хэмжигч нь үйлдвэрлэл, үйлдвэрлэгчид, үйлдвэрлэлийн салбарт өргөн хэрэглэгддэг бөгөөд хагас дамжуулагч үйлдвэрлэл, хагас дамжуулагч үйлдвэрлэлд бас оролцдог.
Хийн алдагдсан илрүүлэгч: Хийн гоожсон илрүүлэгч нь хийн систем дэх гоожсон байдлыг илрүүлэхэд ашиглагддаг. ИлрүүлдэгХийн алдагдал гарах, сэрүүлэг нь алдагдахаас урьдчилан сэргийлэхийн тулд цаг тухайд нь сэтгэл түгшүүртэй байх болно. Хийн алдагдсан мэдрэгч нь үйлдвэрлэлийн, химийн, газрын тос, газрын тос, байгалийн хийн хэрэглээнд өргөн хэрэглэгддэг бөгөөд хагас дамжуулагч үйлдвэрлэл, хагас дамжуулагч үйлдвэрлэлд оролцдог.
Шуудангийн цаг: 2-р сарын 20-20244