Өндөр цэвэршилттэй хий дамжуулах технологи нь өндөр цэвэршилттэй хийн хангамжийн системийн чухал хэсэг бөгөөд шаардлагатай өндөр цэвэршилттэй хийг ашиглалтын цэгт хүргэж, чанарын шаардлага хангасан хэвээр байх гол технологи юм;Өндөр цэвэршилттэй хий дамжуулах технологи нь системийн зөв дизайн, холбох хэрэгсэл, дагалдах хэрэгслийг сонгох, барилга угсралт, суурилуулалт, туршилтыг багтаадаг.Сүүлийн жилүүдэд том хэмжээний нэгдсэн хэлхээгээр дүрслэгдсэн микроэлектроникийн бүтээгдэхүүн үйлдвэрлэхэд өндөр цэвэршилттэй хийн цэвэршилт, хольцын агууламжийн талаархи хатуу шаардлага улам бүр нэмэгдэж байгаа нь өндөр цэвэршилттэй хийн хоолойн технологид ихээхэн анхаарал хандуулж, онцолж байна.Материалын сонголтоос өндөр цэвэршилттэй хий дамжуулах хоолойн товч тоймыг доор харуулавof барилгын ажил, түүнчлэн хүлээн авах, өдөр тутмын менежмент.
Нийтлэг хийн төрлүүд
Электроникийн үйлдвэрлэлийн нийтлэг хийн ангилал:
Энгийн хийнүүд（Бөөн хий）: устөрөгч (H2), азот (Н2), хүчилтөрөгч (О2), аргон (А2) гэх мэт.
Тусгай хийSiH байна4 ,PH3 ,B2H6 ,A8H3 ,CL ,HCL,CF4 ,NH3,POCL3, SIH2CL2 SIHCL3,NH3, BCL3 ,SIF4 ,CLF3 ,CO,C2F6, N2O,F2,HF,HBR SF6…… гэх мэт.
Тусгай хийн төрлийг ерөнхийд нь идэмхий гэж ангилж болнохий, хортойхий, шатамхайхий, шатамхайхий, идэвхгүйхий, гэх мэт өргөн хэрэглэгддэг хагас дамжуулагч хийг ерөнхийд нь дараах байдлаар ангилдаг.
(i) идэмхий / хортойхий: HCl, BF3, WF6, HBr, SiH2Cl2, NH3, PH3, Cl2, BCl3... гэх мэт.
(ii) Шатах чадвархий: Х2, Ч4, SiH4, PH3, AsH3, SiH2Cl2, Б2H6, CH2F2,CH3F, CO... гэх мэт.
(iii) шатамхай чанархий: О2, Cl2, Н2О, НФ3… гэх мэт.
(iv) Идэвхгүйхий: Н2, CF4, C2F6, C4F8,SF6, CO2, Не, Кр, Тэр... гэх мэт.
Олон тооны хагас дамжуулагч хий нь хүний биед хортой.Ялангуяа эдгээр хийн зарим нь, тухайлбал SiH4 гоожих нь агаарт байгаа хүчилтөрөгчтэй хүчтэй урвалд орж, шатаж эхлэхэд аяндаа шатах;болон AsH3маш хортой, бага зэрэг гоожих нь хүний амь насанд эрсдэл учруулж болзошгүй тул эдгээр илэрхий аюулаас болж системийн дизайны аюулгүй байдалд тавигдах шаардлага онцгой өндөр байдаг.
Хийн хэрэглээний хамрах хүрээ
Орчин үеийн аж үйлдвэрийн чухал үндсэн түүхий эд болох хийн бүтээгдэхүүнийг өргөнөөр ашигладаг бөгөөд олон тооны энгийн хий буюу тусгай хий нь металлурги, ган, газрын тос, химийн үйлдвэр, машин, электроник, шил, керамик, барилгын материал, барилгын салбарт ашиглагддаг. , хүнсний үйлдвэрлэл, эм, эмнэлгийн салбар.Хийн хэрэглээ нь ялангуяа эдгээр талбайн өндөр технологид чухал нөлөө үзүүлдэг бөгөөд түүний зайлшгүй түүхий эд буюу технологийн хий юм.Аж үйлдвэрийн төрөл бүрийн шинэ салбар, орчин үеийн шинжлэх ухаан, технологийн хэрэгцээ, сурталчилгааны тусламжтайгаар л хийн аж үйлдвэрийн бүтээгдэхүүнийг төрөл, чанар, тоо хэмжээгээр үсрэнгүй хөгжүүлэх боломжтой.
Микроэлектроник ба хагас дамжуулагчийн үйлдвэрлэлд хийн хэрэглээ
Хийн хэрэглээ нь хагас дамжуулагч процесст үргэлж чухал үүрэг гүйцэтгэсээр ирсэн, ялангуяа хагас дамжуулагч процесс нь уламжлалт ULSI, TFT-LCD-ээс эхлээд одоогийн бичил цахилгаан механик (MEMS) үйлдвэрлэл хүртэл янз бүрийн салбарт өргөн хэрэглэгдэж ирсэн. бүтээгдэхүүн үйлдвэрлэх процесс болгон хагас дамжуулагч гэж нэрлэгддэг процессыг ашигладаг.Хийн цэвэр байдал нь бүрэлдэхүүн хэсгүүдийн гүйцэтгэл, бүтээгдэхүүний гарцад шийдвэрлэх нөлөө үзүүлдэг бөгөөд хийн хангамжийн аюулгүй байдал нь ажилчдын эрүүл мэнд, үйлдвэрийн үйл ажиллагааны аюулгүй байдалтай холбоотой байдаг.
Өндөр цэвэршилттэй хийн тээвэрлэлтэд өндөр цэвэршилттэй хоолойн ач холбогдол
Зэвэрдэггүй ган хайлуулах, материал хийх явцад тонн тутамд 200 гр хий шингээх боломжтой.Зэвэрдэггүй ган боловсруулсны дараа түүний гадаргуу нь янз бүрийн бохирдуулагчид наалдсан төдийгүй металл торонд нь тодорхой хэмжээний хий шингэдэг.Дамжуулах хоолойгоор агаарын урсгал гарах үед метал нь хийн энэ хэсгийг шингээж, агаарын урсгал руу дахин орж, цэвэр хийг бохирдуулна.Хоолойн доторх агаарын урсгал тасалдалгүй байх үед хоолой нь даралтын дор хийг шингээж, агаарын урсгал зогсоход хоолойд шингэсэн хий нь даралтын уналт үүсгэдэг бөгөөд ууссан хий нь хоолой дахь цэвэр хий рүү ордог. хольц хэлбэрээр.Үүний зэрэгцээ шингээлт, ялгаралт давтагддаг тул хоолойн дотоод гадаргуу дээрх метал нь мөн тодорхой хэмжээний нунтаг үүсгэдэг бөгөөд энэ металлын тоосны хэсгүүд нь хоолойн доторх цэвэр хийг бохирдуулдаг.Хоолойн энэ шинж чанар нь тээвэрлэж буй хийн цэвэр байдлыг хангахад зайлшгүй шаардлагатай бөгөөд энэ нь хоолойн дотоод гадаргуугийн маш өндөр тэгш байдлыг шаарддаг төдийгүй элэгдэлд тэсвэртэй байх шаардлагатай.
Хүчтэй идэмхий шинж чанартай хий ашиглах үед хоолойд зэврэлтэнд тэсвэртэй зэвэрдэггүй ган хоолойг ашиглах шаардлагатай.Үгүй бол хоолой нь зэврэлтээс болж дотоод гадаргуу дээр зэврэлтээс үүсэх толбо үүсэх бөгөөд ноцтой тохиолдолд их хэмжээний металл хуулах эсвэл бүр цооролт үүсч, тархах цэвэр хийг бохирдуулна.
Их хэмжээний урсгалын өндөр цэвэршилттэй, өндөр цэвэршилттэй хий дамжуулах, түгээх дамжуулах хоолойн холболт.
Зарчмын хувьд тэдгээрийг бүгдийг нь гагнаж, гагнуур хийх үед ашигласан хоолойнууд нь зохион байгуулалтад өөрчлөлт оруулахгүй байхыг шаарддаг.Хэт их нүүрстөрөгчийн агууламжтай материал нь гагнуурын үед гагнасан эд ангиудын агаар нэвчих чадварт өртдөг бөгөөд энэ нь хоолойн дотор болон гаднах хий харилцан нэвтрэн орж, дамжуулж буй хийн цэвэр, хуурай, цэвэр байдлыг алдагдуулдаг. бидний бүх хүчин чармайлт.
Дүгнэж хэлэхэд, өндөр цэвэршилттэй хий, тусгай хий дамжуулах хоолойн хувьд өндөр цэвэршилттэй зэвэрдэггүй ган хоолойг тусгай боловсруулалт хийх, өндөр цэвэршилттэй дамжуулах хоолойн системийг (хоолой, холбох хэрэгсэл, хавхлага, VMB, VMP гэх мэт) хийх шаардлагатай. өндөр цэвэршилттэй хийн хуваарилалт нь амин чухал үүрэг гүйцэтгэдэг.
Дамжуулах, түгээх шугам хоолойн цэвэр технологийн ерөнхий ойлголт
Хоолойгоор өндөр цэвэр, цэвэр хийн их бие дамжуулах гэдэг нь тээвэрлэх хийн гурван тал дээр тодорхой шаардлага буюу хяналт тавихыг хэлнэ.
Хийн цэвэршилт: gХийн цэвэршилт дэх хольцын атмосферийн агууламж: Хийн цэвэршилтийн хувиар илэрхийлэгддэг хийн дэх бохирдлын атмосферийн агууламжийг ихэвчлэн 99.9999% гэх мэт хийн цэвэршилтийн хувиар илэрхийлдэг бөгөөд мөн хольцын атмосферийн агууламжийн эзлэхүүний харьцаа ppm, ppb, ppt.
Хуурайшил: хийн дэх ул мөр чийгийн хэмжээ, эсвэл чийглэг гэж нэрлэгддэг хэмжээ, ихэвчлэн шүүдэр цэгээр илэрхийлэгддэг атмосферийн даралт шүүдэр цэг -70.C.
Цэвэр байдал: хийд агуулагдах бохирдуулагч тоосонцрын тоо, ширхэгийн хэмжээ мкм, шахсан агаарт хэдэн ширхэг/М3 ялгахыг ихэвчлэн мөн тосны агуулгыг хамарсан зайлшгүй хатуу үлдэгдэл хэдэн мг/м3-аар илэрхийлэгддэг. .
Бохирдуулагчийн хэмжээний ангилал: бохирдуулагчийн тоосонцор нь голчлон дамжуулах хоолойн цэвэрлэгээ, элэгдэл, металл тоосонцор, атмосферийн тортогны тоосонцор, түүнчлэн бичил биетэн, фаг, чийг агуулсан хийн конденсацийн дусал гэх мэтийг хэсгүүдийн хэмжээгээр нь хамааруулна. гэж хуваагддаг
a) Том тоосонцор – 5μм-ээс дээш ширхэгийн хэмжээ
b) Бөөм – материалын диаметр 0.1μm-5μm
в) Хэт бичил хэсгүүд – ширхэгийн хэмжээ 0.1μм-ээс бага.
Энэхүү технологийн хэрэглээг сайжруулах, бөөмийн хэмжээ, мкм нэгжийн талаарх ойлголттой болохын тулд бөөмийн тодорхой статусын багцыг лавлагаа болгон өгсөн болно.
Дараах нь тодорхой бөөмсийн харьцуулалт юм
| Нэр /Бөөмийн хэмжээ (мкм) | Нэр /Бөөмийн хэмжээ (мкм) | Нэр/Бөөмийн хэмжээ (мкм) |
| Вирус 0.003-0.0 | Аэрозоль 0.03-1 | Аэрозольжуулсан бичил дусал 1-12 |
| Цөмийн түлш 0.01-0.1 | Будаг 0.1-6 | Үнс 1-200 |
| Нүүрстөрөгчийн хар 0.01-0.3 | Хуурай сүү 0.1-10 | Пестицид 5-10 |
| Давирхай 0.01-1 | Бактери 0.3-30 | Цементийн тоос 5-100 |
| Тамхины утаа 0.01-1 | Элсний тоос 0.5-5 | Тоосонцор 10-15 |
| Силикон 0.02-0.1 | Пестицид 0.5-10 | Хүний үс 50-120 |
| Талстжуулсан давс 0.03-0.5 | Баяжуулсан хүхрийн тоос 1-11 | Далайн элс 100-1200 |
Шуудангийн цаг: 2022 оны 6-р сарын 14-ний хооронд